SEM是用观察对象的方法，利用电子线路观察微小的表面结构。
EDS则是利用特性X射线，可以分析样品表面的构成元素。

SEM(Electron Microscopy:扫描电子显微镜)是电子显微镜的一种，用于检测电子射线照射样品时出现的二次电子和反射电子，并观察对象。光学显微镜不能观察比光波长短的东西，但是在SEM中因为使用波长短的电子线，所以可以观察样品微小的表面结构。二次电子像主要观察样品表面凹凸的情况，反射电子像主要观察元素组成的对比的情况。

EDS (Energy dispersive X-ray spectrometry:能量分散型X射线分析)是利用能量对电子射线照射产生的特性X射线(荧光X射线)进行光谱检测。特性X射线的能量是元素固有的，可以对构成试料的元素进行分析(分析深度为几百nm ~几μm(根据分析条件))。作为根据SEM-EDS的元素分析的例子，显示出根据清洗液在不锈钢板上产生的斑点的分析结果。色斑的部分，与没有色斑的部分相比C的峰值变大，由此可以知道这个色斑的有机物的由来。